电子半导体产线工艺废气治理-江苏天兴环保股份有限公司
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    电子半导体产线工艺ballbet登录治理
    工艺介绍
    Scheme  introduction

    1、PECVD工艺ballbet登录

    PECVD设备尾气主要包含硅烷SiH4及氨气NH3等。

    处理工艺:不锈钢燃烧筒→不锈钢硅烷燃烧洗涤塔-氨气洗涤塔+离心风机

    主要特点:硅烷去除率高,氨气及其他水溶性气体净化率高,占地面积小,耐腐蚀,便于维修。

    2.丝网印刷工艺ballbet登录

    丝网印刷ballbet登录工艺主要涉及的主要设备印刷机和烧结炉,产生的ballbet登录主要是一些以脂类和醇类ballbet登录为主的有机ballbet登录及热ballbet登录。

    处理工艺:采用活性炭纤维吸附塔。

    主要特点:设备占地面积小,耐腐蚀,便于维修,无二次污染,净化效率较活性炭颗粒较高。

    设备主要特点:洗涤塔采用酸/碱洗涤、水洗一体塔+活性炭吸附进行ballbet登录净化处理,自动化控制,达标排放,占地面积少、控制操作简单方便,处理效果佳、维护成本低。

    干化等工艺产生的臭气采用酸碱洗涤吸收、生物除臭、光催化氧化、活性炭吸附等工艺处理,达标排放。




    工程案例
    applicationcase



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    山西华光电子股份有限公司

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    江苏南大光电

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    苏州能讯

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    江苏晶旺新能源

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    徐州协鑫

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    天津中国航空

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    中电熊猫

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